晶圆表面缺陷、划痕、污垢、裂纹等是常见的质量问题。这些缺陷可能是在制造过程中由于磨损、摩擦或其他原因造成的，会影响产品的功能。常规的解决方案为视觉检测技术，将晶圆放置在XYR精密运动台上，XY轴进行位置的左右前后移动，R轴调整晶圆的位姿，在Z轴上放置视觉检测装置，如光源和CCD镜头，调整到视觉合适位置，确保在视觉范围内将不良品准确的检测出来。
四轴精密运动台特点
流程图
